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中国科学技术大学杜学维获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种水平聚焦镜的机械压弯调节机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121679844B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610188316.0,技术领域涉及:G02B7/185;该发明授权一种水平聚焦镜的机械压弯调节机构是由杜学维;姜帅康;赵帅;王梓萌;魏珅;徐章浪;王秋平设计研发完成,并于2026-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种水平聚焦镜的机械压弯调节机构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种水平聚焦镜的机械压弯调节机构,包括压弯机构、底板、Pitch精调机构及真空集线端子,压弯机构设沿平面镜基底同轴对中的镜座与Twist调节镜座,搭配四组对称布置的压弯约束铰链,实现精准压弯与镜体扭转误差补偿;Pitch精调机构采用偏心设计的Pitch调节铰链,可补偿压弯机构重心偏移,配合线性驱动器与光栅编码器实现高精度姿态检测与闭环调节;真空集线端子实现超高真空环境下的密封集线。本发明能够实现高面形精度压弯,实现扭转误差精确补偿与Pitch姿态精准调节,模块化设计支持离线调试,适配超高真空环境,适用于同步辐射光源等大科学装置、半导体光刻等领域。

本发明授权一种水平聚焦镜的机械压弯调节机构在权利要求书中公布了:1.一种水平聚焦镜的机械压弯调节机构,其特征在于,包括压弯机构1、底板2、Pitch精调机构3及真空集线端子4,所述真空集线端子4通过螺栓固定于底板2上并为机构内所有电气部件提供真空密封式的信号与动力集线; 所述压弯机构1设有压弯机构底座101、镜座102、压弯约束铰链103、Twist调节镜座108、U形压块109及平面镜基底110,所述Pitch精调机构3设有偏心设计的Pitch调节铰链301、光栅尺306、光栅编码器307及编码器固定座308; 所述Pitch调节铰链301的铰链内圈301-10固连至底板2上,所述压弯机构底座101与Pitch调节铰链301的铰链外圈301-1可拆卸固定;所述压弯约束铰链103设置于压弯机构底座101上方,其一端均与压弯机构底座101固定,其另一端与镜座102或Twist调节镜座108连接,用于传递压弯扭矩; 所述Twist调节镜座108的夹持端通过U形压块109固定平面镜基底110,用于补偿镜体扭转误差;所述光栅尺306粘贴于Pitch调节铰链301的铰链外圈301-1上,所述光栅编码器307通过编码器固定座308固定于底板2上,且与光栅尺306对应配合以检测Pitch调节角度; 所述平面镜基底110压弯后面形误差的均方根值要求≤200nrad、Pitch调节最小步长≤100nrad; 所述镜座102安装于压弯机构底座101上远离Twist调节镜座108的一端,并与Twist调节镜座108沿平面镜基底110的长度方向呈平面镜基底110轴线对称布置;所述压弯约束铰链103设置有四组并呈对称布置,两组压弯约束铰链103成上下分布并连接压弯机构底座101与上镜座102之间,另外两组压弯约束铰链103成上下分布并连接压弯机构底座101与Twist调节镜座108之间;所有压弯约束铰链103的一端均与压弯机构底座101固定,分布于镜座102处的两组压弯约束铰链103另一端与镜座102连接,分布于Twist调节镜座108处的两组压弯约束铰链103另一端与Twist调节镜座108连接;镜座102与Twist调节镜座108的夹持端共面误差要求≤0.01mm; 每个所述压弯约束铰链103均设有运动端103-1、柔性连杆103-3及铰链固定端103-4,所述柔性连杆103-3设置有五根并呈均匀放射状连接在运动端103-1与铰链固定端103-4之间,且所述柔性连杆103-3两端分别与运动端103-1及铰链固定端103-4的连接处均设有直圆缺口103-2;所有柔性连杆103-3的轴线延长线交点形成转动中心一103-5,且转动中心一103-5与平面镜基底110的中性层重合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学技术大学,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市金寨路96号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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