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龙图腾网获悉苏州赛腾精密电子股份有限公司申请的专利缺陷检测设备及检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121678703B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610170018.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权缺陷检测设备及检测系统是由孙丰;赵建华;蒋立设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷检测设备及检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种缺陷检测设备及检测系统，包括：夹持装置，包括用于夹持晶圆的夹持机构和驱动夹持机构升降的Z轴模组；第一检测装置，位于夹持装置下方，包括视觉机构和驱动视觉机构移动的第一X轴模组，视觉机构包括安装架、设置于安装架上的相机模组和光源模组；安装架上设有安装轴、可转动地套设于安装轴上的第一传动件和第二传动件，相机模组与第一传动件固定连接，光源模组与第二传动件固定连接；视觉机构包括设置于安装架上的调节组件，调节组件适于驱动第一传动件和第二传动件绕着安装轴沿相反方向转动。本发明采用上述结构，能够在检测途中对相机模组和视觉模组进行角度调节，且二者的光轴交汇点不易偏移，提高检测过程中的可靠性。

本发明授权缺陷检测设备及检测系统在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测设备，其特征在于，包括： 夹持装置100，包括用于夹持晶圆500的夹持机构110和驱动所述夹持机构110沿Z轴方向升降的Z轴模组120； 第一检测装置200，位于所述夹持装置100下方，其包括视觉机构210和驱动所述视觉机构210沿X轴方向移动的第一X轴模组220，所述视觉机构210包括安装架230、设置于所述安装架230上的相机模组240和光源模组250； 其中，所述安装架230上设有安装轴231、可转动地套设于所述安装轴231上的第一传动件241和第二传动件251，所述相机模组240与所述第一传动件241固定连接，所述光源模组250与所述第二传动件251固定连接；所述视觉机构210包括设置于所述安装架230上的调节组件260，所述调节组件260适于驱动所述第一传动件241和所述第二传动件251绕着所述安装轴231沿相反方向转动； 所述调节组件260包括： 主动轴261，可转动地设置于所述安装架230，其上固定套设有第一传动齿轮265； 第一传动轴262，可转动地设置于所述安装架230，其上固定套设有与所述第一传动齿轮265相啮合的第二传动齿轮266； 第二传动轴263，可转动地设置于所述安装架230，其上固定套设有与所述第二传动齿轮266相啮合的第三传动齿轮267； 驱动电机264，设置于所述安装架230，且与所述主动轴261传动连接； 其中，所述第一传动轴262与所述第一传动件241传动连接，所述第二传动轴263与所述第二传动件251传动连接； 所述安装轴231的轴线方向和所述主动轴261的轴线方向均平行于Y轴方向，所述第一传动轴262和所述第二传动轴263的轴线方向均平行于X轴方向； 所述安装架230在Y轴方向的两侧均设置有一个安装座233，各所述安装座233内均固定连接有一同轴的所述安装轴231，所述第一传动件241与所述安装轴231一一对应，且分别收容于不同的所述安装座233，所述第二传动件251与所述安装轴231一一对应，且分别收容于不同的所述安装座233； 所述相机模组240和所述光源模组250均收容于两个所述安装座233之间的收容空间，所述相机模组240在Y轴方向的两端分别与不同的所述第一传动件241相接，所述光源模组250在Y轴方向的两端分别与不同的所述第二传动件251相接。

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