浙江大学陈远流获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利超精密加工刀具用自发热单晶金刚石的生产方法、刀具及超精密切削方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121556133B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610083769.7,技术领域涉及:C30B25/02;该发明授权超精密加工刀具用自发热单晶金刚石的生产方法、刀具及超精密切削方法是由陈远流;刘士荃;傅祥;李阳阳;李辉;李忠伟设计研发完成,并于2026-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本超精密加工刀具用自发热单晶金刚石的生产方法、刀具及超精密切削方法在说明书摘要公布了:本发明涉及超精密切削用金刚石领域,具体涉及一种超精密加工刀具用自发热单晶金刚石的生产方法、刀具及超精密切削方法。一种超精密加工刀具用自发热单晶金刚石的生产方法,包括以下步骤:S1.提供晶向倾角为45‑55°的高质量单晶金刚石作为籽晶;S2.构建氢气流量为500±10sccm的氢等离子体气氛,通入碳源气体、硼源气体、氧气、氮气和氩气;S3.在所述籽晶表面持续沉积至少300小时,获得厚度不小于1.1mm的沉积态单晶金刚石;S4.将合成的沉积态单晶金刚石在纯氧环境下热处理,获得电阻率为0.8‑2.0Ω•m,且通入可变电流后能在焦耳热效应作用下自体发热至200‑500℃的单晶金刚石。本发明通过单晶金刚石自体加热,在无需外部热场的情况下,用于刀具时能实现切削微区热场的精准空间限域、快速响应与精细调控,便于实现硬脆材料光学级表面的超精密切削加工。
本发明授权超精密加工刀具用自发热单晶金刚石的生产方法、刀具及超精密切削方法在权利要求书中公布了:1.一种超精密加工刀具用自发热单晶金刚石的生产方法,通过微波等离子体辅助化学气相沉积工艺合成,其特征在于包括以下步骤: S1.提供晶向倾角为45-55°的高质量单晶金刚石作为籽晶,所述籽晶表面及亚表面无位错、裂纹、凹坑缺陷,且生长表面不存在非金刚石碳结构; S2.构建氢气流量为500±10sccm的氢等离子体气氛,通入碳源气体、硼源气体、氧气、氮气和氩气,所述碳源气体包括甲烷,甲烷流量为35-45sccm,硼源气体为硼烷,硼烷流量为3-5sccm,氧气流量为6-8sccm,氮气流量为0.5±0.05sccm,氩气流量为2±0.1sccm,所述气体的纯度均为99.9999%; S3.在温度590-980℃、压力20-22kPa、微波功率5-5.5kW条件下,通过微波等离子体辅助化学气相沉积在所述籽晶表面持续沉积至少300小时,获得厚度不小于1.1mm的沉积态单晶金刚石; S4.将合成的沉积态单晶金刚石在纯氧环境下于温度700-800℃下热处理1-2小时,获得电阻率为0.8-2.0Ω·m,且通入可变电流后能在焦耳热效应作用下自体发热至200-500℃的单晶金刚石;其中,该单晶金刚石通入固定值电流后,自体发热的温度达到稳态。
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