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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备的马拉松测试方法、装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115855541B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211410799.2，技术领域涉及：G01M99/00；该发明授权半导体工艺设备的马拉松测试方法、装置及系统是由马永超设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备的马拉松测试方法、装置及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了半导体工艺设备的马拉松测试方法、装置及系统；其中，该方法包括：若当前循环数不大于预设马拉松循环数，对第一升降装置和第二升降装置分别执行第一操作和第二操作；若当前循环数为奇数，控制机械手将第一升降装置中的晶圆转移至第二升降装置；若当前循环数为偶数，将第二升降装置中的晶圆转移至第一升降装置；将当前循环数加1，并重复执行，直至当前循环数大于预设马拉松循环数。上述测试过程中，无需依赖上位机电脑和上位机软件的操作界面，通过下位机即可实现半导体工艺设备的测试；同时，丰富了测试内容，提高了半导体工艺设备的测试效率和测试质量，保证了半导体工艺设备的稳定性运行。

本发明授权半导体工艺设备的马拉松测试方法、装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的马拉松测试方法，其特征在于，应用于与所述半导体工艺设备通信连接的下位机，所述半导体工艺设备包括：机械手、调整器、第一升降装置和第二升降装置；其中，所述第一升降装置中放置有第一片盒，所述第二升降装置中放置有第二片盒，所述第一片盒和所述第二片盒内均设置有多个片槽，所述片槽用于承载晶圆；所述方法包括： 步骤S102，若当前循环数不大于预设马拉松循环数，对所述第一升降装置和所述第二升降装置分别执行第一操作和第二操作；其中，所述第一操作包括关闭所述第一升降装置的门，对所述第一片盒中多个所述片槽进行扫描生成第一晶圆信息，以及对所述第一升降装置进行抽真空处理；所述第二操作包括关闭所述第二升降装置的门，对所述第二片盒中多个所述片槽进行扫描生成第二晶圆信息，以及对所述第二升降装置进行抽真空处理； 步骤S104，若所述当前循环数为奇数，控制所述机械手将所述第一升降装置中的晶圆转移至所述第二升降装置；或者，若所述当前循环数为偶数，控制所述机械手将所述第二升降装置中的晶圆转移至所述第一升降装置； 步骤S106，将所述当前循环数加1，并返回步骤S102重复执行，直至所述当前循环数大于所述预设马拉松循环数。

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