三星显示有限公司黄德炫获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利薄膜厚度测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224121906U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520763315.5，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型薄膜厚度测量装置是由黄德炫;金基铉;庆在善;朴英吉设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜厚度测量装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种薄膜厚度测量装置。根据本实用新型的实施例的薄膜厚度测量装置可以包括：工作台，对在基板上沿第一方向依次布置有多个薄膜的照射对象物进行支撑；第一光学部件，沿第一方向的相反方向朝向照射对象物照射第一入射光，并接收从照射对象物反射的第一反射光；第二光学部件，包括光生成部和光接收部，光生成部沿与第一方向交叉的第二方向朝向照射对象物照射第二入射光，光接收部接收从照射对象物反射的第二反射光；以及运算处理部件，基于第一反射光及第二反射光来计算多个薄膜中的每一个的厚度。
本实用新型薄膜厚度测量装置在权利要求书中公布了：1.一种薄膜厚度测量装置，其特征在于，包括： 工作台，对在基板上沿第一方向依次布置有多个薄膜的照射对象物进行支撑； 第一光学部件，沿所述第一方向的相反方向朝向所述照射对象物照射第一入射光，并接收从所述照射对象物反射的第一反射光； 第二光学部件，包括光生成部和光接收部，所述光生成部沿与所述第一方向交叉的第二方向朝向所述照射对象物照射第二入射光，所述光接收部接收从所述照射对象物反射的第二反射光；以及 运算处理部件，基于所述第一反射光及所述第二反射光来计算所述多个薄膜中的每一个的厚度。
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