量伙半导体设备(上海)有限公司王玉冰获国家专利权
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龙图腾网获悉量伙半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种用于退火炉温度预测拟合系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224121746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520674233.3,技术领域涉及:F27D19/00;该实用新型一种用于退火炉温度预测拟合系统是由王玉冰;吴云鹏;汪知昱;余云龙设计研发完成,并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于退火炉温度预测拟合系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于退火炉温度预测拟合系统,涉及退火炉温度预测拟合技术领域,本实用新型通过预测温度接收模块接收预测温度值,并发送至预测温度转换模块转换为电压信号,通过温度检测块检测退火炉内的温度值,并转换为电压信号,极性判断模块根据电压信号判断未来温度与检测温度的大小,并发送升温或降温高电平信号至驱动模块,温差计算模块电压信号计算温度的电压差信号,并发送至拟合调控模块,预测时差接收模块用于发送预测时差至时差转换模块转换为时间的电压信号,拟合调控模块根据接收的温度与时间的电压差信号,输出功率调节信号至驱动模块,驱动模块对升温设备与降温设备的启停与功率进行控制。
本实用新型一种用于退火炉温度预测拟合系统在权利要求书中公布了:1.一种用于退火炉温度预测拟合系统,其特征在于,包括: 预测温度接收模块10,所述预测温度接收模块10与预测温度转换模块20电性连接,用于接收退火炉预测的未来温度值,并发送至预测温度转换模块20; 预测温度转换模块20,所述预测温度转换模块20与极性判断模块40、温差计算模块50电性连接,用于根据接收的预测的未来温度值转换为电压信号,发送至极性判断模块40和温差计算模块50; 温度检测模块30,所述温度检测模块30安装在退火炉内,与极性判断模块40、温差计算模块50电性连接,用于检测退火炉内的温度值,并转换为电压信号发送至极性判断模块40、温差计算模块50; 极性判断模块40,所述极性判断模块40与驱动模块90电性连接,用于根据预测温度转换模块20发送的电压信号与温度检测模块30发送的电压信号的大小,发送升温与降温高电平信号高电平信号至驱动模块90; 温差计算模块50,所述温差计算模块50与拟合调控模块80电性连接,用于根据预测温度转换模块20发送的电压信号与温度检测模块30发送的电压信号的大小,计算温度的电压差信号,并发送至拟合调控模块80; 预测时差接收模块60,所述预测时差接收模块60与时差转换模块70电性连接,用于接收对退火炉预测的未来温度值的时刻,与当前时刻的时间差值,并发送至时差转换模块70; 时差转换模块70,所述时差转换模块70与拟合调控模块80电性连接,用于把接收到的时间差值转换为时间的电压信号发送至拟合调控模块80; 拟合调控模块80,所述拟合调控模块80与驱动模块90电性连接,用于根据接收的温度的电压差信号,与时间的电压差信号,输出功率调节信号至驱动模块90; 驱动模块90,所述驱动模块90用于根据接收到达升温与降温高电平信号,打开或关闭升温设备与降温设备,并根据功率调节信号对升温设备与降温设备进行功率调节。
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