东京毅力科创株式会社山泽阳平获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利滤波器电路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114449722B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111280919.7，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权滤波器电路是由山泽阳平设计研发完成，并于2021-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本滤波器电路在说明书摘要公布了：本发明涉及一种滤波器电路。滤波器电路设置于使用等离子体进行处理的等离子体处理装置，该等离子体是使用4MHz以上的第一频率的电力和100Hz以上且小于4MHz的第二频率的电力来生成的，该滤波器电路具备第一滤波器部和第二滤波器部。第一滤波器部设置于等离子体处理装置内的导电构件与用于向导电构件供给小于100Hz的第三频率的电力或直流电力的电力供给部之间的布线。第二滤波器部设置于第一滤波器部与电力供给部之间的布线。第一滤波器部具有与串联地连接于布线的第一线圈、以及连接于布线与地之间的串联谐振电路。第二滤波器部具有串联地连接于第一线圈与电力供给部之间的布线的第二线圈。
本发明授权滤波器电路在权利要求书中公布了：1.一种滤波器电路，设置于使用等离子体来进行基板的处理的等离子体处理装置，该等离子体是使用4MHz以上的第一频率的电力和100Hz以上且小于4MHz的第二频率的电力来生成的，所述滤波器电路具备： 第一滤波器部，其设置于设置在所述等离子体处理装置内的导电构件与用于向所述导电构件供给控制电力的电力供给部之间的布线，所述控制电力是小于100Hz的第三频率的电力或直流电力；以及 第二滤波器部，其设置于所述布线的处于所述第一滤波器部与所述电力供给部之间的部分， 其中，所述第一滤波器部具有：第一线圈，其串联地连接于所述布线，所述第一线圈不具有芯材或者具有相对磁导率小于10的第一芯材；以及串联谐振电路，其连接在所述布线与地之间，所述串联谐振电路具有被串联地连接的线圈和电容器， 所述第二滤波器部具有第二线圈，所述第二线圈串联地连接于所述布线的处于所述第一线圈与所述电力供给部之间的部分，所述第二线圈具有相对磁导率为10以上的第二芯材。
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