南通腾翌精密科技有限公司缪志高获国家专利权
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龙图腾网获悉南通腾翌精密科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆的机器手搬运吸盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224111605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520994004.X,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种半导体晶圆的机器手搬运吸盘是由缪志高;程潇设计研发完成,并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆的机器手搬运吸盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体晶圆的机器手搬运吸盘,属于半导体晶圆技术领域,包括机械臂,所述机械臂的一端安装有连接杆,所述连接杆的一端固定连接有安装盘,还包括搬运机构,所述搬运机构设置于安装盘的内壁,所述安装盘的内壁安装有数个均匀排列的导管,所述导管的一侧连通有若干个均匀排列的吸盘主体,所述吸盘主体的一端固定连接有伸缩筒,所述伸缩筒的另一端固定连接有垫片。通过上述方式,安装盘内的导管与吸盘主体相配合可以对半导体晶圆进行吸附固定,吸盘主体一端的伸缩筒在与半导体晶圆接触时受到挤压并与半导体晶圆紧密贴合,柔性垫片与半导体晶圆表面贴合,吸盘可以与半导体晶圆紧密贴合,可以提高装置对半导体晶圆的搬运效果。
本实用新型一种半导体晶圆的机器手搬运吸盘在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆的机器手搬运吸盘,包括机械臂1,所述机械臂1的一端安装有连接杆2,所述连接杆2的一端固定连接有安装盘3,其特征在于: 还包括搬运机构4,所述搬运机构4设置于安装盘3的内壁,所述安装盘3的内壁安装有数个均匀排列的导管401,所述导管401的一侧连通有若干个均匀排列的吸盘主体402,所述吸盘主体402的一端固定连接有伸缩筒403,所述伸缩筒403的另一端固定连接有垫片404。
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