深圳市昇维旭技术有限公司张强获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利加热器、加热装置及炉管机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224111323U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520708857.2，技术领域涉及：H05B3/00；该实用新型加热器、加热装置及炉管机台是由张强设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热器、加热装置及炉管机台在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种加热器、加热装置及炉管机台，加热器包括环形灯管、灯丝和匀光透镜环，环形灯管用于套设在炉管上，灯丝设置在环形灯管内，灯丝环绕炉管设置，匀光透镜环设置在环形灯管上，匀光透镜环位于灯丝靠近炉管一侧，用于将至少部分灯丝的光线转换成平行光。平行光加热炉管，加热器加热区域温度分布更均匀，可提高晶圆上不同位置形成膜层的厚度均匀性。加热器应用于炉管机台，多个加热器沿炉管的轴向方向间隔设置，与灯丝沿炉管的轴向方向设置在炉管外侧的方案相比，可通过调节不同加热器的功率，对炉管轴向方向不同区域的温度进行分区调节，以提高炉管内不同位置的晶圆上形成膜层的厚度均匀性。
本实用新型加热器、加热装置及炉管机台在权利要求书中公布了：1.一种加热器，用于加热炉管，其特征在于，所述加热器包括： 环形灯管，用于套设在所述炉管上； 灯丝，设置在所述环形灯管内，所述灯丝环绕所述炉管设置； 匀光透镜环，设置在所述环形灯管上，所述匀光透镜环位于所述灯丝靠近所述炉管一侧，用于将至少部分所述灯丝的光线转换成平行光。
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