陕西科技大学张昌松获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西科技大学申请的专利一种谐振器结构及传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224111147U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520919196.8，技术领域涉及：H03H9/24；该实用新型一种谐振器结构及传感器是由张昌松;李洋;王宏涛设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种谐振器结构及传感器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种谐振器结构，包括玻璃基底，所述玻璃基底上端面上设置DEFT谐振梁，所述DEFT谐振梁的两端通过隔热弹簧单元与玻璃基底连接；所述DEFT谐振梁的两侧设置梳齿单元；所述DEFT谐振梁上设置隔热层。DEFT谐振梁两端通过隔热弹簧单元与玻璃基底连接，隔热弹簧单元减少了连接件与玻璃基底的接触面积，可以很好的对谐振器进行隔热，当谐振器产生热应变时，隔热弹簧单元可以起到一定的缓冲作用从而降低温度对谐振器频率的影响，避免MEMS硅谐振器结构在温度变化较大的情况下产生的温度漂移，影响测量精度的问题。
本实用新型一种谐振器结构及传感器在权利要求书中公布了：1.一种谐振器结构，其特征在于，包括玻璃基底7，所述玻璃基底7上端面上设置DEFT谐振梁3，所述DEFT谐振梁3的两端通过隔热弹簧单元与玻璃基底7连接； 所述DEFT谐振梁3的两侧设置梳齿单元； 所述DEFT谐振梁3上设置隔热层。
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