安徽三晶半导体有限公司程平获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽三晶半导体有限公司申请的专利晶片载台减震机构及测试系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224109591U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520591077.4，技术领域涉及：G01R31/26；该实用新型晶片载台减震机构及测试系统是由程平;王强;柴福设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片载台减震机构及测试系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶片载台减震机构及测试系统，所述晶片载台减震机构包括：主承载台和基板，所述主承载台上设有容纳晶片的放置区，所述主承载台和基板之间设有弹性杆；所述弹性杆包括滑动杆和滑动座，所述滑动杆和滑动座之间弹性连接；所述滑动杆内部设有吸附腔，所述基板上还设有吸附导管，所述吸附导管贯穿基板后延伸至吸附腔内，在所述晶片放置在放置区时产生冲击减震弹簧形变收缩后，所述吸附导管与吸附腔真空吸附连接。本实用新型在完成对冲击力减震吸收后，所述主承载台和基板在真空吸附连接效应下，重新形成刚性连接结构，在探针卡对晶片进行检测时晶片载台减震机构能够提供足够的稳定性。
本实用新型晶片载台减震机构及测试系统在权利要求书中公布了：1.一种晶片载台减震机构，其特征在于，包括： 主承载台100和基板300，所述主承载台100上设有容纳晶片的放置区101，所述主承载台100和基板300之间设有弹性杆200； 所述弹性杆200包括滑动杆210和滑动座220，所述滑动杆210和滑动座220嵌套设置，所述滑动座220与基板300连接，所述滑动杆210自滑动座220远离基板300延伸出滑动座220并与主承载台100连接，所述滑动杆210外壁设有减震弹簧240，所述滑动杆210通过减震弹簧240和滑动座220之间弹性连接； 所述滑动杆210内部设有吸附腔212，所述基板300上还设有吸附导管230，所述吸附导管230贯穿基板300后延伸至吸附腔212内，在所述晶片放置在放置区101时产生冲击减震弹簧240形变收缩后，所述吸附导管230与吸附腔212真空吸附连接。
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