浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司曾进平获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司申请的专利一种晶圆载具高度检测治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224108751U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521142542.2,技术领域涉及:G01B5/02;该实用新型一种晶圆载具高度检测治具是由曾进平;吕孙赵;刘力设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载具高度检测治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆载具高度检测治具,包括底座、测试杆和测试块;所述底座与所述测试杆连接,用于放置待测晶圆载具;所述测试杆与所述测试块连接,用于设置所述测试块的高度范围;所述测试块用于检测所述待测晶圆载具的高度是否在所述高度范围内;所述高度范围为所述待测晶圆载具的高度合格范围。该治具通过测试杆调整测试块的高度范围,通过检测待测晶圆载具高度是否在测试块的高度范围判定高度是否及格,仅仅需要将待测晶圆载具移动到测试块与底座之间即可测试,结构简单,成本低,效率高。
本实用新型一种晶圆载具高度检测治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆载具高度检测治具,其特征在于,包括:底座1、测试杆2和测试块3;所述底座1与所述测试杆2连接,用于放置待测晶圆载具;所述测试杆2与所述测试块3连接,用于设置所述测试块3的高度范围;所述测试块3用于检测所述待测晶圆载具的高度是否在所述高度范围内;所述高度范围为所述待测晶圆载具的高度合格范围。
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