浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司曾进平获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司申请的专利一种晶圆载具内框检测治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224108743U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521143086.3,技术领域涉及:G01B5/00;该实用新型一种晶圆载具内框检测治具是由曾进平;吕孙赵;刘力设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载具内框检测治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆载具内框检测治具,包括:测试底板和可移动框条;测试底板用于放置待测晶圆载具;可移动框条安装在测试底板上;测试底板包括:固定框条;固定框条与可移动框条构成测试框,测试框的外径用于对待测晶圆载具的内框进行检测。该治具通过测试底板的固定框条与可移动框条形成测试框,利用测试框检测晶圆载具内框是否符合合格范围范围,结构简单,成本低,效率高。
本实用新型一种晶圆载具内框检测治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆载具内框检测治具,其特征在于,包括:测试底板1和可移动框条2;所述测试底板1用于放置待测晶圆载具;所述可移动框条2安装在所述测试底板1上;所述测试底板1包括:固定框条11;所述固定框条11与所述可移动框条2构成测试框,所述测试框的外径用于对待测晶圆载具的内框进行检测。
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