芯恩(青岛)集成电路有限公司宋语晨获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利摆阀及刻蚀机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224107697U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521137535.3，技术领域涉及：F16K3/08；该实用新型摆阀及刻蚀机台是由宋语晨设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本摆阀及刻蚀机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种摆阀及刻蚀机台，涉及半导体制造技术领域，本申请的摆阀，包括阀壳、旋转组件、驱动组件和密封组件；所述旋转组件包括阀板、密封圈和垫圈；所述驱动组件包括驱动轴；所述旋转组件套设于所述驱动轴上，且位于所述阀壳内，所述阀板在所述驱动轴的驱动下转动，以开启或闭合所述阀壳的内腔；所述密封组件与所述阀板连接形成密封腔，所述驱动轴与所述阀板的连接处、所述密封圈和所述垫圈均容纳在所述密封腔内。本申请将旋转组件和阀板的接触部分全部密封至密封腔内，避免摆阀转动时产生的颗粒污染物进入刻蚀腔的腔体，保证了产品性能和质量；同时本申请未改变摆阀的整体结构，也降低了成本。
本实用新型摆阀及刻蚀机台在权利要求书中公布了：1.一种摆阀，其特征在于，包括：阀壳、旋转组件、驱动组件和密封组件； 所述旋转组件包括阀板、密封圈和垫圈；所述驱动组件包括驱动轴； 所述旋转组件套设于所述驱动轴上，且位于所述阀壳内，所述阀板在所述驱动轴的驱动下转动，以开启或闭合所述阀壳的内腔； 所述密封组件与所述阀板连接形成密封腔，所述驱动轴与所述阀板的连接处、所述密封圈和所述垫圈均容纳在所述密封腔内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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