AP系统股份有限公司将盛旭获国家专利权
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龙图腾网获悉AP系统股份有限公司申请的专利卡盘工作台、其支撑板制造方法及包含其的激光处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539924B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010645513.3，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权卡盘工作台、其支撑板制造方法及包含其的激光处理装置是由将盛旭;李基雄;金圣进;张民奎设计研发完成，并于2020-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘工作台、其支撑板制造方法及包含其的激光处理装置在说明书摘要公布了：本公开涉及一种卡盘工作台、包含卡盘工作台的激光处理装置以及用于制造卡盘工作台的支撑板的方法，且卡盘工作台包含支撑板和真空泵，支撑板具有深度小于宽度的气流槽，以通过真空压力吸附待处理的物件。由于气流槽的深度低，当抽吸经处理物件或衬底的一部分的竖直方向力减小时，可防止经处理物件的翘曲。因此，可防止在经处理物件的激光处理期间在经处理物件中产生的斑，且可解决处理均匀性的降低。
本发明授权卡盘工作台、其支撑板制造方法及包含其的激光处理装置在权利要求书中公布了：1.一种卡盘工作台，用于激光处理装置，用激光束照射并处理待处理的物件，包括： 支撑板，包括抽吸孔和与所述抽吸孔连通的气流槽，且支撑待处理的所述物件；以及 真空泵，连接到所述抽吸孔以提供用于固定待处理的所述物件的真空抽吸力， 其中所述气流槽的深度小于其宽度， 其中所述支撑板由金属制成，通过湿式蚀刻形成具有深度为10微米到100微米的所述气流槽， 其中所述气流槽包括形成于其底部表面上的微压纹，且 其中所述支撑板具有弯曲的支撑表面，且所述弯曲的支撑表面的弧具有0.1微米到10微米的高度。
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