上海隐冠半导体技术有限公司袁嘉欣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种旋转台限位装置及其初始化方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111911573B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010962003.9,技术领域涉及:F16D71/00;该发明授权一种旋转台限位装置及其初始化方法是由袁嘉欣;江旭初;吴火亮;陈啸虎;汤成燕设计研发完成,并于2020-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转台限位装置及其初始化方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体硅片制造及检测领域,公开一种旋转台限位装置及其初始化方法。旋转台限位装置包括限位固定件和限位触发件,限位固定件包括底座、导向件、限位块和磁性组件,底座被配置为安装于旋转台的固定组件上,底座设置有第一限位位置和第二限位位置,导向件安装于底座,限位块与导向件活动连接,限位块能沿导向件在第一限位位置和第二限位位置之间运动,磁性组件用于使限位块与第一限位位置或第二限位位置相吸附;限位触发件被配置为安装于旋转台的旋转组件上,限位触发件随旋转组件转动时能与限位块相接触,并带动限位块运动。本发明减小了旋转限位机构的尺寸,并确保限位块限位的稳定性,避免限位块在受冲击时发生晃动。
本发明授权一种旋转台限位装置及其初始化方法在权利要求书中公布了:1.一种旋转台限位装置,其特征在于,包括: 限位固定件1,包括底座11、导向件12、限位块13和磁性组件14,所述底座11被配置为安装于旋转台的固定组件100上,所述底座11上开设有安装槽114,所述安装槽114的底部为U形槽,所述安装槽114的上部沿U形槽的两侧向外倾斜延伸,两个倾斜的壁面分别形成第一限位位置111和第二限位位置112,所述安装槽114的顶部呈敞口状态,所述导向件12安装于所述安装槽114的底部,所述限位块13的底端转动安装于导向件12,所述限位块13能沿所述导向件12在所述第一限位位置111和所述第二限位位置112之间运动,所述限位块13的上部两侧具有两个平面,分别用于与所述底座11的所述第一限位位置111和所述第二限位位置112相配合接触; 所述磁性组件14包括限位磁铁,两个所述限位磁铁分别嵌装于所述限位块13的两侧,用于使所述限位块13与所述第一限位位置111或所述第二限位位置112相吸附; 限位触发件2,被配置为安装于所述旋转台的旋转组件200上,所述限位触发件2随所述旋转组件200转动时能与所述限位块13相接触,并带动所述限位块13沿所述导向件12在所述第一限位位置111和所述第二限位位置112之间运动,通过所述限位块13与所述第一限位位置111及所述第二限位位置112的配合,使所述旋转台沿同一方向旋转的角度大于360°。
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