上海玄亨科技股份有限公司刘段裔获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种静电吸盘的研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224088749U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520897373.7，技术领域涉及：B24B37/11；该实用新型一种静电吸盘的研磨装置是由刘段裔设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘的研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种静电吸盘的研磨装置，包括：驱动部、研磨组件、调节组件和若干补偿组件。所述驱动部提供动力；所述研磨组件包括：与驱动部连接的摆臂、与所述摆臂连接的固定盘、研磨盘。所述调节组件固定在所述摆臂上。每个所述补偿组件包括：外层套杆、内层套杆、万向压脚，所述外层套杆为中空结构，其顶端连接所述调节组件；所述内层套杆的顶端插入外层套杆中，其底端设有球状连接件；且内层套杆与外侧套杆弹性连接；所述万向压脚固定在所述固定盘的上表面，其上表面连接所述球状连接件，使所述内层套杆以球状连接件为圆心转动。其中，通过内层套杆与外侧套杆发生相对移动对所述固定盘施加压力，防止静电吸盘与研磨盘产生夹角。
本实用新型一种静电吸盘的研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘的研磨装置，其特征在于，包括： 驱动部，提供动力； 研磨组件，包括：与驱动部连接的摆臂、与所述摆臂连接的固定盘，以及用于研磨静电吸盘的研磨盘；所述静电吸盘固定在固定盘的下表面，放置在所述固定盘与研磨盘之间； 调节组件，固定在所述摆臂上； 若干补偿组件，连接在所述调节组件与固定盘之间，每个所述补偿组件为所述研磨组件提供压力补偿，包括： 外层套杆，为中空结构，其顶端连接所述调节组件； 内层套杆，其顶端插入外层套杆中，其底端设有球状连接件； 弹性件，套设在内层套杆上，且其底端连接内层套杆，其顶端连接所述外层套杆，且在内层套杆与外侧套杆发生相对移动时使所述弹性件压缩对所述固定盘施加压力； 万向压脚，其下表面为平面结构，固定在所述固定盘的上表面；且其上表面连接所述球状连接件，使所述内层套杆以球状连接件为圆心转动。
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