广东汉之匠半导体科技有限公司何鸿景获国家专利权
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龙图腾网获悉广东汉之匠半导体科技有限公司申请的专利加工机构、加工装置及加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224088205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520692561.6,技术领域涉及:B23K26/362;该实用新型加工机构、加工装置及加工设备是由何鸿景;刘佳鑫;王宏恩;童灿钊;巫礼杰;尹建刚设计研发完成,并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工机构、加工装置及加工设备在说明书摘要公布了:本申请涉及加工机构、加工装置及加工设备,其中加工机构包括:加工平台;用于改质加工和烧蚀加工的激光器组件,位于加工平台一侧,激光器组件包括依次设置的共用激光器、共用光路传输单元和共用加工头;加工参数调节组件,连接于激光器组件,以调节激光器组件的激光参数,从而使激光器组件能对位于加工平台的工件进行改质加工和烧蚀加工。上述加工机构有效改善因对晶圆进行改质加工和烧蚀加工时需要在多台设备上独立加工而需要在多台设备之间转运导致加工效率不高的问题,从而提高工件如晶圆的加工时效性,进而满足半导体加工过程的更高要求。
本实用新型加工机构、加工装置及加工设备在权利要求书中公布了:1.一种加工机构,其特征在于,包括: 加工平台; 用于改质加工和烧蚀加工的激光器组件,位于所述加工平台一侧,所述激光器组件包括依次设置的共用激光器、共用光路传输单元和共用加工头; 加工参数调节组件,连接于所述激光器组件,以调节所述激光器组件的激光参数,从而使所述激光器组件能对位于所述加工平台的工件进行改质加工和烧蚀加工。
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