山东浪潮华光光电子股份有限公司刘滨获国家专利权
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龙图腾网获悉山东浪潮华光光电子股份有限公司申请的专利一种晶圆分选机吸嘴清洁装置及晶圆分选机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224087403U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520348929.7,技术领域涉及:B08B1/14;该实用新型一种晶圆分选机吸嘴清洁装置及晶圆分选机是由刘滨;徐盼盼设计研发完成,并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆分选机吸嘴清洁装置及晶圆分选机在说明书摘要公布了:本申请提供的一种晶圆分选机吸嘴清洁装置及晶圆分选机涉及晶圆加工技术领域。一种晶圆分选机吸嘴清洁装置包括清洁单元和振动器。所述的清洁单元设置于铁环装载装置的装载板上。所述振动器的数量为两个,且两个所述的振动器分别设置于芯片传送装置的两个取料架上。所述的清洁单元包括驱动件和清洁组件,且所述的清洁组件能够在所述驱动件的带动下向内侧伸出。工作时,铁环装载装置移动,并使清洁组件与设置在取料架上的吸嘴对齐,然后驱动件动作,带动清洁组件向内侧移动,从而使吸嘴与清洁组件的清洁布接触,并在振动器的作用下使吸嘴与清洁布发生相对运动,实现对吸嘴自动清洁的效果,从而增加吸嘴的寿命和挑拣能力。
本实用新型一种晶圆分选机吸嘴清洁装置及晶圆分选机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆分选机吸嘴清洁装置,其特征在于:包括清洁单元4和振动器; 所述的清洁单元4设置于铁环装载装置2的装载板21上; 所述振动器的数量为两个,且两个所述的振动器分别设置于芯片传送装置1的两个取料架13上; 所述的清洁单元4包括驱动件和清洁组件42,且所述的清洁组件42能够在所述驱动件的带动下向内侧伸出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东浪潮华光光电子股份有限公司,其通讯地址为:261061 山东省潍坊市高新区金马路9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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