江苏宏基高新材料股份有限公司田敏获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏宏基高新材料股份有限公司申请的专利一种半导体加工设备用石墨表面处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224087115U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520734033.2，技术领域涉及：B05B16/20；该实用新型一种半导体加工设备用石墨表面处理装置是由田敏设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工设备用石墨表面处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体加工设备用石墨表面处理装置，其包括：真空干燥箱、布液管、加热管、滑座和升降座，真空干燥箱顶部设置有盖板，升降座可升降地设置在真空干燥箱中，升降座上间隔设置有垫块，石墨板水平设置在垫块上，升降座上设置有驱动盖板进行同步升降的连杆，滑座可横移地设置在盖板的下方，布液管与加热管左右间隔设置在滑座的底部，布液管底部设置有沿石墨板宽度方向间隔分布的喷头，通过喷头进行抗氧化涂层的喷涂施工，施工完成后进行滑座的复位，并在复位过程中开启加热管和真空泵，进行加热和抽真空，提升了抗氧化涂层的干燥效果，确保抗氧化涂层的厚度分布均匀性。
本实用新型一种半导体加工设备用石墨表面处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工设备用石墨表面处理装置，对石墨板表面进行抗氧化涂层的喷涂施工和干燥处理，其特征在于，包括：真空干燥箱、布液管、加热管、滑座和升降座，所述真空干燥箱顶部设置有盖板，所述升降座可升降地设置在真空干燥箱中，所述升降座上间隔设置有垫块，所述石墨板水平设置在垫块上，所述升降座上设置有驱动盖板进行同步升降的连杆，所述滑座可横移地设置在盖板的下方，所述布液管与加热管左右间隔设置在滑座的底部，所述布液管底部设置有沿石墨板宽度方向间隔分布的喷头。
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