荣芯半导体(宁波)有限公司汪洋获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利废气处理装置以及半导体制程废气处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224086396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520319807.5,技术领域涉及:B01D53/14;该实用新型废气处理装置以及半导体制程废气处理系统是由汪洋设计研发完成,并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本废气处理装置以及半导体制程废气处理系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种废气处理装置以及半导体制程废气处理系统,该装置包括串联设置的第一洗涤塔和第二洗涤塔,第一洗涤塔和第二洗涤塔内均设有循环水箱;第一洗涤塔和第二洗涤塔的循环水箱通过连通管相互连通,连通管上设有控制连通管导通或闭合的开关件,开关件与控制开关件开启或关闭的开关控制器相连。本实用新型用以解决废气处理过程中洗涤液浪费的问题。
本实用新型废气处理装置以及半导体制程废气处理系统在权利要求书中公布了:1.一种废气处理装置,其特征在于,包括串联设置的第一洗涤塔和第二洗涤塔,所述第一洗涤塔和所述第二洗涤塔内均设有循环水箱;所述第一洗涤塔和所述第二洗涤塔的循环水箱通过连通管相互连通,所述连通管上设有控制所述连通管导通或闭合的开关件。
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