致真精密设备(杭州)有限公司程厚义获国家专利权
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龙图腾网获悉致真精密设备(杭州)有限公司申请的专利一种晶圆除气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121620134B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610148009.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆除气装置是由程厚义;陈磊;张凯丽;娄德强;杜寅昌;李玉婷;丁庆设计研发完成，并于2026-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆除气装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆除气装置，属于晶圆加工技术领域。装置包括支架、第一箱体、水冷法兰组件、加热组件、水冷台组件、互联颈管和分子泵；第一箱体放置于支架上；水冷法兰组件可拆卸的连接第一箱体；加热组件抵接水冷法兰组件，用于将产生的热量通过水冷法兰组件传递至第一箱体的内部空腔；水冷台组件可拆卸的连接第一箱体，用于支撑和冷却第一箱体内部空腔中的晶圆；互联颈管连通第一箱体的内部空腔；分子泵通过互联颈管连通第一箱体的内部空腔，用于维持第一箱体的内部空腔处于真空状态。本发明采用上述装置，能够提高晶圆所在环境温度均匀性和温度变化速度，以增强晶圆除气和冷却效果。
本发明授权一种晶圆除气装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆除气装置，其特征在于，包括支架1、第一箱体2、水冷法兰组件3、加热组件4、水冷台组件5、互联颈管6和分子泵7； 所述第一箱体2放置于所述支架1上； 所述水冷法兰组件3可拆卸的连接所述第一箱体2； 所述加热组件4抵接所述水冷法兰组件3，用于将产生的热量通过所述水冷法兰组件3传递至所述第一箱体2的内部空腔； 所述水冷台组件5可拆卸的连接所述第一箱体2，用于支撑和冷却所述第一箱体2内部空腔中的晶圆； 所述互联颈管6连通所述第一箱体2的内部空腔； 所述分子泵7通过所述互联颈管6连通所述第一箱体2的内部空腔，用于维持所述第一箱体2的内部空腔处于真空状态。
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